Verfahren zur Ablagerung Poröser Organosilikatglasfilme zur Verwendung als Resistiver Direktzugriffsspeicher

EP3268997 Art A1 17. Januar 2018

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3268997
Aktenzeichen: EP16718741
Anmeldetag: 8. März 2016
Veröffentlichung: 17. Januar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L45/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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