Verfahren und Vorrichtung zur Abbildung einer Probe mit Ptychographie

EP3270405 Art B1 21. Juli 2021

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3270405
Aktenzeichen
EP17174986
Anmeldetag
8. Juni 2017
Veröffentlichung
21. Juli 2021
Erteilung
21. Juli 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/22H01J37/28
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
FEI Company
Land
🇺🇸 USA

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Janssen, Francis-Paul FEI Company · Inhouse Eindhoven, Niederlande
266
Patente gesamt
15
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Elektrische Energietechnik
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