Verfahren zur Herstellung einer Integrierten Schaltvorrichtung mit Verbesserten Mechanischen Eigenschaften

EP3270411 Art A1 17. Januar 2018

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3270411
Aktenzeichen: EP17189518
Anmeldetag: 20. Juni 2016
Veröffentlichung: 17. Januar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/768H01L23/532

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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