Einrichtung zur Verschwenkung eines Spiegel-Elements mit Zwei Schwenk-Freiheitsgraden und Sensor zur Bestimmung der Verschwenkung

EP3271771 Art A1 24. Januar 2018

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3271771
Aktenzeichen: EP16710701
Anmeldetag: 11. März 2016
Veröffentlichung: 24. Januar 2018
Rechtsraum: EP
IPC: G01C9/06G02B26/08G02B26/10H02N1/00// G02B19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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