Systeme und Verfahren zur Erhöhung der Prüfempfindlichkeit eines Prüfwerkzeugs
EP3271939
Art B1
25. September 2019
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3271939
- Aktenzeichen
- EP16765600
- Anmeldetag
- 15. März 2016
- Veröffentlichung
- 25. September 2019
- Erteilung
- 25. September 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G03F1/84G06T7/00G06T5/50H04N5/225
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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