Monolithische Integration von Halbleitermaterialien

EP3273468 Art B1 15. März 2023

Anmelder: IMEC VZW, IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3273468
Aktenzeichen: EP17181795
Anmeldetag: 18. Juli 2017
Veröffentlichung: 15. März 2023
Erteilung: 15. März 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/762H01L21/84H01L29/06H01L29/78

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: IMEC VZW
IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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