Herstellung von Übergangsmetallnitrid
EP3282037
Art B1
7. Dezember 2022
Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3282037
- Aktenzeichen
- EP16183450
- Anmeldetag
- 9. August 2016
- Veröffentlichung
- 7. Dezember 2022
- Erteilung
- 7. Dezember 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/04C23C16/56C23C16/02C23C16/34H01L21/768H01L23/532
Abstract
In a first aspect, the present invention relates to a use of an amine-containing silane for forming a transition metal nitride. In this use, the amine of the amine-containing silane is the source of at least some, preferably most and most preferably all of the nitrogen present in the transition metal nitride.
Anmelder
- Firma
- IMEC VZW
- Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
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