Vakuumsystem

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3282129

Aktenzeichen

EP16202522

Anmeldetag

6. Dezember 2016

Veröffentlichung

14. Juli 2021

Erteilung

14. Juli 2021

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04F04D27/02F04D29/52// F04D29/64G01M3/20F04D29/70

Abstract

Ein erfindungsgemäßes Vakuumsystem, insbesondere Vakuumpumpe oder Anordnung aus zumindest einem Vakuumgerät, bevorzugt einer Vakuumpumpe, und wenigstens einem Rezipienten, bevorzugt einer Vakuumkammer oder einem Messgerät wie z.B. einem Elektronenmikroskop, umfasst einen Arbeitsbereich, ein Trennorgan, und einen Steuerraum, welcher durch das Trennorgan von dem Arbeitsbereich getrennt ist und in welchem ein relativ zum Druck im Arbeitsbereich veränderbarer Steuerdruck herrscht, wobei durch Verändern des Steuerdrucks mittels des Trennorgans eine Arbeitsbewegung im Arbeitsbereich durchführbar ist

Anmelder

Firma

PFEIFFER VACUUM GMBH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete