Elektronenmikroskop und Verfahren zu dessen Betrieb

EP3285279 Art B1 6. März 2019

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3285279
Aktenzeichen: EP17183831
Anmeldetag: 28. Juli 2017
Veröffentlichung: 6. März 2019
Erteilung: 6. März 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/22H01J37/244H01J37/073H01J37/28H01J37/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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