Systeme und Verfahren zur Laufzeitausrichtung eines Punktweise Abtastenden Waferprüfsystem
EP3286780
Art B1
31. Juli 2024
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3286780
- Aktenzeichen
- EP16783746
- Anmeldetag
- 20. April 2016
- Veröffentlichung
- 31. Juli 2024
- Erteilung
- 31. Juli 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66G01N23/203G01N21/93G01N21/95G02B13/00G01N21/956
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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