Quellbare Filmbildende Zusammensetzungen und Verfahren zur Nano-Imprint-Lithographie damit

EP3289604 Art B1 13. Juli 2022

Anmelder: 3M Innovative Properties Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3289604
Aktenzeichen: EP16786960
Anmeldetag: 25. April 2016
Veröffentlichung: 13. Juli 2022
Erteilung: 13. Juli 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: 3M Innovative Properties Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 3M Innovative Properties

US-amerikanische Tochtergesellschaft des Mischkonzerns 3M, verwaltet Patente und geistiges Eigentum für Produkte aus Bereichen Klebetechnik, Materialwissenschaft und Konsumgüter.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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