Automatisierte Bildbasierte Prozessüberwachung und Steuerung
EP3289607
Art B1
24. Dezember 2025
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3289607
- Aktenzeichen
- EP16787087
- Anmeldetag
- 27. April 2016
- Veröffentlichung
- 24. Dezember 2025
- Erteilung
- 24. Dezember 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G06V10/40H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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