Verfahren zur Abscheidung von Siliciumhaltigen Filmen unter Verwendung von Organoaminodisilanvorläufern

EP3290425 Art A1 7. März 2018

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3290425
Aktenzeichen: EP17190090
Anmeldetag: 3. Juni 2013
Veröffentlichung: 7. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C07F7/02C23C16/34C23C16/40C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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