Verfahren zur Einschätzung, Ob ein Halbleiterwafer ein nicht Defekter Wafer Ist, durch Verwendung des Laserstreuungsverfahrens

EP3290910 Art B1 4. November 2020

Anmelder: Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3290910
Aktenzeichen: EP17197729
Anmeldetag: 4. Juni 2010
Veröffentlichung: 4. November 2020
Erteilung: 4. November 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/95G01N21/88

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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