Semisequentielle 3D-Integration

EP3291290 Art A1 7. März 2018

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3291290
Aktenzeichen: EP17188972
Anmeldetag: 1. September 2017
Veröffentlichung: 7. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/822H01L21/84H01L27/06H01L27/088H01L27/12// H01L27/02H01L27/092

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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