Halbleiterbauelement und Herstellungsverfahren dafür
Anmelder: Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation, Semiconductor Manufacturing International (Beijing) Corporation, Semiconductor Manufacturing International Corporation (Shanghai), Semiconductor Manufacturing International Corporation (Beijing) 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3291291
- Aktenzeichen
- EP17188710
- Anmeldetag
- 31. August 2017
- Veröffentlichung
- 2. Oktober 2019
- Erteilung
- 2. Oktober 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/8234H01L21/8238H01L21/311H01L29/66
Abstract
Semiconductor devices and fabrication methods thereof are provided. An exemplary fabrication method includes providing a semiconductor substrate; forming a plurality of fins on a surface of the semiconductor substrate; forming an isolation flowable layer covering the plurality of fins over the semiconductor substrate; performing a first annealing process to turn the isolation flowable layer into an isolation film; and forming first well regions and second well regions in the fins and the semiconductor substrate. The second well regions are at two sides of the first well regions and contact with the first well regions; the first well regions have a first type of well ions; the second well regions have a second type of well ions; and the first type is opposite to the second type in the conductivities.
Anmelder
- Firmen
- Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation
Semiconductor Manufacturing International (Beijing) Corporation
Semiconductor Manufacturing International Corporation (Shanghai)
Semiconductor Manufacturing International Corporation (Beijing) - Land
- 🇨🇳 China
Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) ist eine Tochtergesellschaft der chinesischen Chipfoundry SMIC mit Sitz in Shanghai. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiterbauelemente, ergänzt um Elektronik- und Steuerungstechnik. Die Anmeldungen aus den Jahren 2016 bis 2021 betreffen unter anderem Halbleiterstrukturen und Spannungsregler.
266 Patente in unserer Datenbank
Semiconductor Manufacturing International (Beijing) ist die Pekinger Fertigungstochter des chinesischen Chip-Auftragsfertigers SMIC. Das Patentportfolio dreht sich fast vollständig um Halbleiter- und elektrische Bauelemente, mit kleineren Anteilen in Datenspeicherung und Optik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus den Jahren 2016 bis 2021.
281 Patente in unserer Datenbank