Facettenspiegel für die Euv-Projektionslithographie sowie Beleuchtungsoptik mit einem Derartigen Facettenspiegel

EP3292441 Art B1 27. Februar 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3292441
Aktenzeichen: EP16718368
Anmeldetag: 26. April 2016
Veröffentlichung: 27. Februar 2019
Erteilung: 27. Februar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B26/08G02B5/08G02B5/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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