Verfahren zur Massenspektrometrischen Untersuchung eines Gases und Massenspektrometer

EP3292561 Art B1 1. Mai 2024

Anmelder: Leybold GmbH, Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3292561
Aktenzeichen: EP16710230
Anmeldetag: 17. März 2016
Veröffentlichung: 1. Mai 2024
Erteilung: 1. Mai 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01J49/00H01J49/42H01J49/02H01J49/38

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Leybold GmbH
Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von