Vorläufer für Gst-Filme in Ald/cvd-Verfahren

EP3293193 Art A3 16. Mai 2018

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3293193
Aktenzeichen: EP17190072
Anmeldetag: 13. August 2013
Veröffentlichung: 16. Mai 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C07F9/90C07F9/94C07C395/00C23C16/18

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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