Systeme und Verfahren zum Scanning mit Schrägem Einfall mit 2D-Anordnung von Punkten
EP3295477
Art B1
15. Dezember 2021
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3295477
- Aktenzeichen
- EP16793208
- Anmeldetag
- 4. Mai 2016
- Veröffentlichung
- 15. Dezember 2021
- Erteilung
- 15. Dezember 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/956G01N21/95G01N21/88G02B21/00G02B27/10G02B21/06G02B27/09G02B27/42G02F1/33G02B26/10G02B27/12
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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