Startermaterial für Chemische Dampfablagerung mit einer Organischen Nickelverbindung sowie Verfahren für Chemische Dampfablagerung mit Verwendung des Besagten Startermaterials für Chemische Dampfablagerung

EP3296425 Art A1 21. März 2018

Anmelder: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3296425
Aktenzeichen: EP16792640
Anmeldetag: 9. Mai 2016
Veröffentlichung: 21. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/18C07C211/21C07F15/00H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tanaka Kikinzoku Kogyo

Tanaka Kikinzoku Kogyo ist ein japanisches Unternehmen für Edelmetallverarbeitung mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Fertigungs- und Verfahrenstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2023 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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