Ausgangsmaterial für Chemische Dampfabscheidung mit einem Heterogenen Polynukleären Komplex und Verfahren für Chemische Dampfabscheidung mit Diesem Ausgangsmaterial für Chemische Dampfabscheidung

EP3296426 Art A1 21. März 2018

Anmelder: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3296426
Aktenzeichen: EP16792642
Anmeldetag: 9. Mai 2016
Veröffentlichung: 21. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/18C07C251/08C07F13/00C07F15/00C07F15/06C07F19/00H01L21/285H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tanaka Kikinzoku Kogyo

Tanaka Kikinzoku Kogyo ist ein japanisches Unternehmen für Edelmetallverarbeitung mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Fertigungs- und Verfahrenstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2023 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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