Selektiver "fin Cut"

EP3297030 Art B1 5. Mai 2021

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3297030
Aktenzeichen: EP16189054
Anmeldetag: 15. September 2016
Veröffentlichung: 5. Mai 2021
Erteilung: 5. Mai 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/66G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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