Ausgangsmaterial für Chemische Gasphasenabscheidung mit einer Organischen Platinverbindung sowie Verfahren für Chemische Gasphasenabscheidung mit Diesem Ausgangsmaterial für Chemische Gasphasenabscheidung

EP3299490 Art A1 28. März 2018

Anmelder: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3299490
Aktenzeichen: EP16792641
Anmeldetag: 9. Mai 2016
Veröffentlichung: 28. März 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/18C07F15/00H01L21/285H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tanaka Kikinzoku Kogyo K.K.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tanaka Kikinzoku Kogyo

Tanaka Kikinzoku Kogyo ist ein japanisches Unternehmen für Edelmetallverarbeitung mit Sitz in Tokio. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt um Fertigungs- und Verfahrenstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2023 ab.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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