Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements mit Kanal mit Hohem Aspektverhältnis

EP3300117 Art B1 17. Juli 2024

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3300117
Aktenzeichen: EP16190164
Anmeldetag: 22. September 2016
Veröffentlichung: 17. Juli 2024
Erteilung: 17. Juli 2024
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/66H01L29/786H01L29/423H01L21/84H01L29/78

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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