System und Verfahren zur Erzeugung einer Sauberen Umgebung in einem Elektronenoptischen System
EP3304573
Art B1
12. Mai 2021
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3304573
- Aktenzeichen
- EP16800701
- Anmeldetag
- 26. Mai 2016
- Veröffentlichung
- 12. Mai 2021
- Erteilung
- 12. Mai 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/065H01J3/02H01J3/40H01J7/18H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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