Rohling für Halbton-Phasenschiebermaske und Halbton-Phasenschiebermaske

EP3309612 Art B1 27. April 2022

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3309612
Aktenzeichen
EP17192227
Anmeldetag
20. September 2017
Veröffentlichung
27. April 2022
Erteilung
27. April 2022
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/26G03F1/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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