Verfahren zur Herstellung von Nanodrähten aus Gespannten Schichten auf Oberflächen eines Fins

EP3312885 Art B1 7. Mai 2025

Anmelder: IMEC VZW 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3312885
Aktenzeichen: EP16194382
Anmeldetag: 18. Oktober 2016
Veröffentlichung: 7. Mai 2025
Erteilung: 7. Mai 2025
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/775H01L29/06H01L29/66H01L21/02B82Y10/00B82Y40/00H01L29/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC VZW
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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