Kanalstruktur für Unteren Auswahltransistor eines 3D-Nand-Strings
Anmelder: Semiconductor Manufacturing International (Beijing) Corporation, Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation, Semiconductor Manufacturing International Corporation (Beijing), Semiconductor Manufacturing International Corporation (Shanghai) 🇨🇳
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3316304
- Aktenzeichen
- EP17199135
- Anmeldetag
- 30. Oktober 2017
- Veröffentlichung
- 25. März 2020
- Erteilung
- 25. März 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L27/1157H01L27/11582
Abstract
A flash memory device includes a substrate, an electrode layer on a portion of the substrate, the electrode layer being a work function adjusting layer or a metal silicide layer, and a memory cell. The memory cell includes a channel structure on the electrode layer and having, from the inside to the outside in this order, a channel layer in contact with the electrode layer, a tunneling insulator layer surrounding the channel layer, a charge trapping layer surrounding the tunneling insulator layer, and a barrier layer surrounding the charge trapping layer, and a plurality of gate structures surrounding the channel structure along an axial direction of the channel structure. The flash memory device may be formed on a dielectric layer, and its fabrication process is thus compatible with back end of line processes.
Anmelder
- Firmen
- Semiconductor Manufacturing International (Beijing) Corporation
Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) Corporation
Semiconductor Manufacturing International Corporation (Beijing)
Semiconductor Manufacturing International Corporation (Shanghai) - Land
- 🇨🇳 China
Semiconductor Manufacturing International (Beijing) ist die Pekinger Fertigungstochter des chinesischen Chip-Auftragsfertigers SMIC. Das Patentportfolio dreht sich fast vollständig um Halbleiter- und elektrische Bauelemente, mit kleineren Anteilen in Datenspeicherung und Optik. Die Anmeldungen stammen überwiegend aus den Jahren 2016 bis 2021.
281 Patente in unserer Datenbank
Semiconductor Manufacturing International (Shanghai) ist eine Tochtergesellschaft der chinesischen Chipfoundry SMIC mit Sitz in Shanghai. Das Patentportfolio konzentriert sich fast vollständig auf Halbleiterbauelemente, ergänzt um Elektronik- und Steuerungstechnik. Die Anmeldungen aus den Jahren 2016 bis 2021 betreffen unter anderem Halbleiterstrukturen und Spannungsregler.
266 Patente in unserer Datenbank