Vorrichtung und Verfahren zur Chemischen Dampfphasenabscheidung
EP3321391
Art A1
16. Mai 2018
Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3321391
- Aktenzeichen
- EP16824406
- Anmeldetag
- 8. Juli 2016
- Veröffentlichung
- 16. Mai 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/455B23B27/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Mitsubishi Materials Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsubishi Materials
Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.
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