Spiegelanordnung für die Lithografische Belichtungsvorrichtung und Optisches System mit der Spiegelanordnung

EP3323130 Art B1 12. Juni 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3323130
Aktenzeichen: EP16734665
Anmeldetag: 5. Juli 2016
Veröffentlichung: 12. Juni 2019
Erteilung: 12. Juni 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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