Vorrichtung mit mehreren Geladenen Teilchenstrahlen
EP3325950
Art B1
4. November 2020
Anmelder: ASML Netherlands B.V., Hermes Microvision Inc. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3325950
- Aktenzeichen
- EP16828551
- Anmeldetag
- 21. Juli 2016
- Veröffentlichung
- 4. November 2020
- Erteilung
- 4. November 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N23/225H01J37/10H01J37/147H01J37/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ASML Netherlands B.V.
Hermes Microvision Inc. - Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven