Verfahren zur Herstellung einer Membrananordnung
EP3326032
Art A1
30. Mai 2018
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3326032
- Aktenzeichen
- EP16734399
- Anmeldetag
- 4. Juli 2016
- Veröffentlichung
- 30. Mai 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/62G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Filip, Diana
Veldhoven, Niederlande
14
Patente gesamt
3
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Weitere Vertreter
-
ASML Netherlands B.V
ASML Netherlands B.V · Veldhoven