Zusammensetzungen und Verfahren zur Abscheidung von Siliciumnitridschichten

EP3329032 Art B1 21. September 2022

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3329032
Aktenzeichen: EP16748443
Anmeldetag: 28. Juli 2016
Veröffentlichung: 21. September 2022
Erteilung: 21. September 2022
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/34C23C16/455H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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