Verfahren zur Bildaufnahme und Elektronenmikroskop

EP3330997 Art A3 25. September 2019

Anmelder: Jeol Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3330997
Aktenzeichen: EP17205387
Anmeldetag: 5. Dezember 2017
Veröffentlichung: 25. September 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/147H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Jeol Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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