Zusammensetzung zum Chemisch-Mechanischen Polieren mit Chemischen Additiven und Verfahren zur Verwendung

EP3333232 Art B1 4. März 2020

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3333232
Aktenzeichen: EP18153525
Anmeldetag: 10. Mai 2013
Veröffentlichung: 4. März 2020
Erteilung: 4. März 2020
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02H01L21/3105

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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