Einsatzrohr und Elektronenmikroskop

EP3333877 Art A1 13. Juni 2018

Anmelder: JEOL LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3333877
Aktenzeichen: EP16202627
Anmeldetag: 7. Dezember 2016
Veröffentlichung: 13. Juni 2018
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/02H01J37/07H01J37/16H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JEOL LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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