Verfahren zur Überwachung der Eigenschaft von Beleuchtung aus einer Metrologievorrichtung
EP3336606
Art A1
20. Juni 2018
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3336606
- Aktenzeichen
- EP16204662
- Anmeldetag
- 16. Dezember 2016
- Veröffentlichung
- 20. Juni 2018
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F9/00G01N21/956
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Broeken, Petrus Henricus Johannes
Veldhoven, Niederlande
88
Patente gesamt
5
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte