Vakuumpumpe mit einer Innenverkleidung zur Aufnahme von Ablagerungen

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3339652

Aktenzeichen

EP16206042

Anmeldetag

22. Dezember 2016

Veröffentlichung

1. Juli 2020

Erteilung

1. Juli 2020

Rechtsraum

EP

IPC

F04D19/04F04D29/40F04D29/70

Abstract

Eine Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfassend ein Gehäuse mit wenigstens einem Einlass für Fluid, insbesondere Prozessgas oder Luft, an welchen ein Rezipient anschließbar ist, und mit wenigstens einem Auslass für das Fluid, und wenigstens eine in dem Gehäuse angeordnete Pumpstufe zum Fördern des Fluids, insbesondere aus dem Rezipient, durch die Vakuumpumpe vom Einlass zum Auslass, wobei in dem Gehäuse eine Kammer ausgebildet ist, ist dadurch gekennzeichnet, dass in der Kammer wenigstens eine Einlage zur Aufnahme von Ablagerungen angeordnet ist, die wenigstens eine die Kammer begrenzende Seite der Kammer überdeckt.

Anmelder

Firma

PFEIFFER VACUUM GMBH

Land

🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete