Waferreinigungsverfahren und Darin Verwendete Chemische Flüssigkeit
EP3340283
Art B1
20. Mai 2020
Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3340283
- Aktenzeichen
- EP16837063
- Anmeldetag
- 10. August 2016
- Veröffentlichung
- 20. Mai 2020
- Erteilung
- 20. Mai 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/306H01L21/3105
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Central Glass Company, Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Central Glass
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.
1.099 Patente in unserer Datenbank