Beleuchtungssystem für Extrem-Ultraviolett(euv)-Projektionsbelichtungsanlage

EP3341794 Art B1 2. Oktober 2019

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3341794
Aktenzeichen: EP16751309
Anmeldetag: 16. August 2016
Veröffentlichung: 2. Oktober 2019
Erteilung: 2. Oktober 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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