Bildgebungsverfahren und Lichtregulierungswerkzeug

EP3343251 Art B1 7. April 2021

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3343251
Aktenzeichen: EP16841187
Anmeldetag: 26. April 2016
Veröffentlichung: 7. April 2021
Erteilung: 7. April 2021
Rechtsraum: EP
IPC: G02B5/00G01N21/17G02B21/06G01N21/41G02B27/30G02B21/08G01N15/02G01N15/14G01N21/25G01N15/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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