Verfahren und Station zur Messung der Verschmutzung einer Transportbox zur Förderung und Atmosphärischen Lagerung von Substraten
EP3345214
Art B1
26. Mai 2021
Anmelder: Pfeiffer Vacuum 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3345214
- Aktenzeichen
- EP16766858
- Anmeldetag
- 29. August 2016
- Veröffentlichung
- 26. Mai 2021
- Erteilung
- 26. Mai 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67H01L21/673G01N33/00G01N21/94
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Pfeiffer Vacuum
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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Kanzlei
Innovincia
Thonon-les-Bains, Frankreich
Innovincia wurde 2006 von Thomas Croonenbroek in Thonon-les-Bains gegründet, seit 2020 Teil der Kanzleigruppe LLR mit zweitem Büro in Annecy. Begleitet Mandanten von der Anmeldung bis zur Durchsetzung in Europa, den USA und Asien, mit Freedom-to-Operate-Analysen und Portfoliobewertungen.
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