Gesinterter Oxidkörper, Verfahren zur Herstellung Davon, Sputtertarget und Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelements

EP3345881 Art A1 11. Juli 2018

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3345881
Aktenzeichen: EP16846025
Anmeldetag: 6. Mai 2016
Veröffentlichung: 11. Juli 2018
Rechtsraum: EP
IPC: C04B35/00C23C14/08C23C14/34H01L21/363H01L29/786

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von