Verfahren zur Abscheidung eines Konformen Metallischen oder Metalloiden Siliciumnitridfilms und Resultierende Filme

EP3347504 Art B1 25. September 2024

Anmelder: Versum Materials US, LLC, Air Products and Chemicals, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3347504
Aktenzeichen: EP16766797
Anmeldetag: 9. September 2016
Veröffentlichung: 25. September 2024
Erteilung: 25. September 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/34C23C16/36C23C16/455C23C16/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Versum Materials US, LLC
Air Products and Chemicals, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

🇺🇸 Air Products

US-amerikanisches Industriegasunternehmen mit Sitz in Allentown, Pennsylvania, Hersteller und Lieferant von Industriegasen sowie zugehörigen Anlagen und Verfahrenstechnik.

1.682 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von