Neue Ansätze in der Scatterometrie-Überlagerung Erster Ordnung basierend auf der Einführung von Elektromagnetischen Hilfsfeldern
EP3347701
Art B1
1. Juli 2020
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3347701
- Aktenzeichen
- EP16844877
- Anmeldetag
- 18. August 2016
- Veröffentlichung
- 1. Juli 2020
- Erteilung
- 1. Juli 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/47G01J3/44G03F7/20G01B9/02G01B11/27
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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