Gemusterte Deckschicht auf Basisstruktur zur Definition eines Hohlraums und Ausrichtungsmarkierung

EP3349247 Art B1 23. Dezember 2020

Anmelder: AT & S Austria Technologie & Systemtechnik Aktiengesellschaft 🇦🇹

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3349247
Aktenzeichen: EP17151472
Anmeldetag: 13. Januar 2017
Veröffentlichung: 23. Dezember 2020
Erteilung: 23. Dezember 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L23/538H01L23/544

Abstract

A method of manufacturing a package (100), wherein the method comprises providing a patterned cover layer (102) on a front side of a base structure (104) to thereby define a position of a cavity (106) to be formed in the base structure (104) and of at least one alignment marker (108) in a common procedure, forming the cavity (106) at the defined position, and removing material of the base structure (104) from a back side to thereby expose the at least one alignment marker (108).

Anmelder

Firma: AT & S Austria Technologie & Systemtechnik Aktiengesellschaft
Land: 🇦🇹 Österreich

🇦🇹 AT & S Austria Technologie & Systemtechnik

AT & S Austria Technologie & Systemtechnik ist ein österreichischer Hersteller von Leiterplatten und Substraten mit Sitz in Leoben. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Schaltungstechnik und elektrische Bauelemente, mit ergänzenden Anmeldungen in Optik und Fertigungstechnik. Anmeldungen stammen aus den Jahren 2002 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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