Verringerung der Taubildung durch Vorbereitung der Probe für die Untersuchung

EP3351923 Art B1 4. Mai 2022

Anmelder: JEOL Ltd., NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY, Jeol Ltd., National Institute of Advanced Industrial Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3351923
Aktenzeichen: EP18152594
Anmeldetag: 19. Januar 2018
Veröffentlichung: 4. Mai 2022
Erteilung: 4. Mai 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G01N1/28G01N1/40G01N1/42

Offizieller Volltext

Abstract

A lower-side structure (12) forms a specimen chamber (18) in which a specimen base is provided. An upper-side structure (14) forms a nozzle chamber (20) above the specimen chamber (18). The specimen chamber (18) and the nozzle chamber (20) are separated by a gate valve (16). In the nozzle chamber (20), at least a tip opening (36) of a nozzle (34) that ejects a specimen is present. A control device (74) maintains a relationship of gas pressures such that a gas pressure in the specimen chamber (18) is higher than a gas pressure in the nozzle chamber (20) when the lower-side structure (12) and the upper-side structure (14) are in communication with each other.

Anmelder

Firmen: JEOL Ltd.
NATIONAL INSTITUTE OF ADVANCED INDUSTRIAL SCIENCE AND TECHNOLOGY
Jeol Ltd.
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

520 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

3.785 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von