Verfahren zur Herstellung eines Sic-Verbundsubstrats

EP3352197 Art B1 29. Juli 2020

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., CUSIC Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3352197
Aktenzeichen
EP16846379
Anmeldetag
9. September 2016
Veröffentlichung
29. Juli 2020
Erteilung
29. Juli 2020
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/20H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
CUSIC Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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