Sic Verbundsubstrat und Verfahren zur Herstellung davon

EP3352198 Art B1 8. Dezember 2021

Anmelder: Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., CUSIC Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3352198
Aktenzeichen
EP16846349
Anmeldetag
8. September 2016
Veröffentlichung
8. Dezember 2021
Erteilung
8. Dezember 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205H01L21/304C30B29/36
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
CUSIC Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Chemical

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio. Shin-Etsu Chemical stellt Siliziumwafer für Halbleiter, Silikonprodukte, PVC und weitere Spezialchemikalien für Elektronik-, Bau- und Industrieanwendungen her.

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